Sistema CVD con forno tubolare sottovuoto a 1600°C

DESCRIZIONE

Il sistema CVD del forno tubolare sottovuoto/atmosfera a 1600°C (CVD-TF) fornisce un ambiente sperimentale con vuoto, atmosfera controllabile e alta temperatura e viene utilizzato nei semiconduttori, nelle nanotecnologie, nelle fibre e in altri campi. Questo sistema di crescita CVD è adatto per il processo CVD, come il rivestimento in carburo di silicio, il test di conducibilità del substrato ceramico, la crescita controllabile della nanostruttura ZnO, la sinterizzazione dell'atmosfera del condensatore ceramico (MLCC) e altri esperimenti.

CARATTERISTICHE

1. Il forno è realizzato con adsorbimento sottovuoto in fibra di mullite policristallina, il campo di temperatura è uniforme e il risparmio energetico è superiore al 50%

2. La tecnologia di deviazione dell'aria e di isolamento termico auto-sviluppata garantisce la durata e l'effetto della temperatura costante di ciascun componente nella scatola

3. Quando il forno elettrico viene avviato, la ventola di scarico si avvierà automaticamente allo stesso tempo. Dopo il test, l'aspiratore continuerà a funzionare fino a quando la temperatura del corpo del forno non sarà inferiore a 60 °C e l'aspiratore si fermerà automaticamente, proteggendo efficacemente la superficie del corpo del forno.

4. La porta del forno viene aperta con spegnimento automatico, funzione di protezione da sovratemperatura e funzione di protezione dalle perdite per garantire la sicurezza d'uso.

5. Il circuito adotta la modalità di uscita del riscaldamento continuo, l'alimentazione a doppio circuito e il cablaggio separato di corrente forte e debole migliora la stabilità del sistema

6. Il modulo di riscaldamento adotta il segnale CC per regolare la potenza di uscita, che evita l'interferenza dell'elettricità indotta al segnale di controllo.

7. I pulsanti in metallo a bassa tensione vengono utilizzati per i pulsanti operativi, con indicatori luminosi di stato, funzionamento sicuro e intuitivo.

8. I corpi del forno superiore e inferiore sono collegati da spine aeronautiche, che sono sicure, affidabili e convenienti da collegare.

9. Il gruppo del circuito del gas è realizzato in acciaio inossidabile alimentare 316, che ha resistenza alla corrosione, resistenza alla corrosione atmosferica e resistenza alle alte temperature ed è non magnetico.

10. Adottare lo strumento di visualizzazione del flusso digitale, cooperare con il regolatore di flusso di massa, raccogliere dati e controllare il flusso. Ha le caratteristiche di buona ripetibilità, velocità di risposta rapida, stabilità e affidabilità. (Sistema di controllo del flusso di massa del gas)

11. Controllo automatico e funzione di commutazione del controllo manuale, la modalità di controllo automatico può aprire/chiudere automaticamente la pompa del vuoto attraverso il valore impostato, in modo che il contenitore possa essere mantenuto entro un determinato intervallo di pressione del vuoto. La modalità di controllo manuale consente all'utente di azionare direttamente la pompa del vuoto tramite il pulsante on/off della pompa del vuoto. per soddisfare le esigenze di diversi esperimenti. (Sistema di controllo del vuoto medio)

12. La tecnologia di avvio lento dell'elettrovalvola fa aprire l'elettrovalvola 10 secondi dopo l'accensione della pompa del vuoto, in modo che la pressione del sistema nel tubo del forno sia mantenuta accurata e garantisca anche che il gas di scarico non ritorni al forno sistema di tubi per influenzare l'effetto sperimentale (sistema di controllo del vuoto medio)

13. Allarme surriscaldamento, blocco menu, prevenzione surriscaldamento, ritardo ripristino alimentazione.

14. Utilizzando la tecnologia della valvola unidirezionale, il flusso di gas è controllato entro un intervallo di pressione controllabile per garantire la sicurezza.

15. Viene adottato il dispositivo del serbatoio di miscelazione del gas, in modo che il gas possa essere introdotto nella stanza di lavoro dopo essere stato completamente miscelato per garantire che non perda.

SPECIFICHE