Sistema CVD con forno tubolare sottovuoto a 1600°C

Sistema CVD con forno tubolare sottovuoto a 1600°C
Il sistema CVD del forno tubolare sottovuoto/atmosfera a 1600°C (CVD-TF) fornisce un ambiente sperimentale con vuoto, atmosfera controllabile e alta temperatura e viene utilizzato nei semiconduttori, nelle nanotecnologie, nelle fibre e in altri campi. Questo sistema di crescita CVD è adatto per il processo CVD, come il rivestimento in carburo di silicio, il test di conducibilità del substrato ceramico, la crescita controllabile della nanostruttura ZnO, la sinterizzazione dell'atmosfera del condensatore ceramico (MLCC) e altri esperimenti.
  • ModelloCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • MarcaLABOAO
  • PortaQualsiasi porto in Cina
  • PacchettoPacchetto cassa in compensato
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DESCRIZIONE

Il sistema CVD del forno tubolare sottovuoto/atmosfera a 1600°C (CVD-TF) fornisce un ambiente sperimentale con vuoto, atmosfera controllabile e alta temperatura e viene utilizzato nei semiconduttori, nelle nanotecnologie, nelle fibre e in altri campi. Questo sistema di crescita CVD è adatto per il processo CVD, come il rivestimento in carburo di silicio, il test di conducibilità del substrato ceramico, la crescita controllabile della nanostruttura ZnO, la sinterizzazione dell'atmosfera del condensatore ceramico (MLCC) e altri esperimenti.

CARATTERISTICHE

1. Il forno è realizzato con adsorbimento sottovuoto in fibra di mullite policristallina, il campo di temperatura è uniforme e il risparmio energetico è superiore al 50%

2. La tecnologia di deviazione dell'aria e di isolamento termico auto-sviluppata garantisce la durata e l'effetto della temperatura costante di ciascun componente nella scatola

3. Quando il forno elettrico viene avviato, la ventola di scarico si avvierà automaticamente allo stesso tempo. Dopo il test, l'aspiratore continuerà a funzionare fino a quando la temperatura del corpo del forno non sarà inferiore a 60 °C e l'aspiratore si fermerà automaticamente, proteggendo efficacemente la superficie del corpo del forno.

4. La porta del forno viene aperta con spegnimento automatico, funzione di protezione da sovratemperatura e funzione di protezione dalle perdite per garantire la sicurezza d'uso.

5. Il circuito adotta la modalità di uscita del riscaldamento continuo, l'alimentazione a doppio circuito e il cablaggio separato di corrente forte e debole migliora la stabilità del sistema

6. Il modulo di riscaldamento adotta il segnale CC per regolare la potenza di uscita, che evita l'interferenza dell'elettricità indotta al segnale di controllo.

7. I pulsanti in metallo a bassa tensione vengono utilizzati per i pulsanti operativi, con indicatori luminosi di stato, funzionamento sicuro e intuitivo.

8. I corpi del forno superiore e inferiore sono collegati da spine aeronautiche, che sono sicure, affidabili e convenienti da collegare.

9. Il gruppo del circuito del gas è realizzato in acciaio inossidabile alimentare 316, che ha resistenza alla corrosione, resistenza alla corrosione atmosferica e resistenza alle alte temperature ed è non magnetico.

10. Adottare lo strumento di visualizzazione del flusso digitale, cooperare con il regolatore di flusso di massa, raccogliere dati e controllare il flusso. Ha le caratteristiche di buona ripetibilità, velocità di risposta rapida, stabilità e affidabilità. (Sistema di controllo del flusso di massa del gas)

11. Controllo automatico e funzione di commutazione del controllo manuale, la modalità di controllo automatico può aprire/chiudere automaticamente la pompa del vuoto attraverso il valore impostato, in modo che il contenitore possa essere mantenuto entro un determinato intervallo di pressione del vuoto. La modalità di controllo manuale consente all'utente di azionare direttamente la pompa del vuoto tramite il pulsante on/off della pompa del vuoto. per soddisfare le esigenze di diversi esperimenti. (Sistema di controllo del vuoto medio)

12. La tecnologia di avvio lento dell'elettrovalvola fa aprire l'elettrovalvola 10 secondi dopo l'accensione della pompa del vuoto, in modo che la pressione del sistema nel tubo del forno sia mantenuta accurata e garantisca anche che il gas di scarico non ritorni al forno sistema di tubi per influenzare l'effetto sperimentale (sistema di controllo del vuoto medio)

13. Allarme surriscaldamento, blocco menu, prevenzione surriscaldamento, ritardo ripristino alimentazione.

14. Utilizzando la tecnologia della valvola unidirezionale, il flusso di gas è controllato entro un intervallo di pressione controllabile per garantire la sicurezza.

15. Viene adottato il dispositivo del serbatoio di miscelazione del gas, in modo che il gas possa essere introdotto nella stanza di lavoro dopo essere stato completamente miscelato per garantire che non perda.

SPECIFICHE

Modello

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

Intervallo operativo di temperatura

300~1600

Risoluzione della temperatura

1

Controllo della temperatura

± 1

Tasso di riscaldamento

0~20/min

Lunghezza della zona di riscaldamento

260mm

600mm

Lunghezza della zona a temperatura   costante

120mm

300mm

grado di vuoto

-0.1MPa

Tempo di riscaldamento a forno vuoto

15min

Esterno

Lamiera d'acciaio laminata a freddo   con rivestimento superficiale resistente agli agenti chimici

Corpo del forno

Fibra di mullite policristallina

Dimensione del forno

440*390*330

780*390*330

Tubo del forno

Tubo di corindone

Dimensione del tubo del forno

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

Stufa

Asta in silicio molibdeno

Potenza di riscaldamento

4KW

4KW

10KW

10KW

Strato di isolamento termico

Deviazione dell'aria forzata a doppio   strato

Controllore

P: display digitale di controllo della   temperatura del programma importato; T: controllo della temperatura del   programma touch screen a colori da 7 pollici

Metodo di controllo

Utilizzare il controllo PID del   microcomputer / controllo della temperatura separato a doppia zona di   temperatura di tipo S

Come impostare

P: toccare i cinque pulsanti per   l'azione, l'impostazione del display digitale; T: toccare il dito per   impostare

Metodo di visualizzazione

P: Display digitale LED a doppia riga;   T: Display LCD a colori

Tempismo

0~999,9 ore

Funzione Esegui

Operazione a valore fisso, operazione   a programma

Modalità programma

P: Programma in esecuzione, 4 curve,   40 passi in totale; T: 50 passaggi possono chiamare il programma memorizzato

Sensore

Termocoppia di tipo S

Funzione ausiliaria

P: funzione di correzione; T: funzione   di correzione, registrazione della curva in tempo reale, esportazione dei   dati del disco U

Equipaggiamento di sicurezza

Interruttore di protezione da sovracorrente

Interruttore di protezione da sovracorrente

Numero di percorsi aerei

3 canali (il numero di canali d'aria   può essere selezionato in base alle specifiche esigenze)

Gamma di flusso

0-0500sccm (standard ml/min,   opzionale) standard di azoto

Precisione

±1% F.S

Tempo di risposta

≤4s

Temperatura di esercizio (flussometro)

5-45

Pressione di lavoro

Pressione di ingresso 0,05-0,3 MPa   (pressione relativa)

Connessione di sistema

Adotta il soffietto a connessione   rapida KF, la valvola a cerniera manuale per alto vuoto e lo strumento di   misurazione del vuoto con display digitale

Gamma di vuoto del sistema

10-100Pa

Pompa a vuoto

Il grado di vuoto massimo teorico   della pompa meccanica a due stadi è 3x10-1Pa, la velocità di pompaggio è   4L/s, l'uscita dell'aria è dotata di un filtro dell'olio, la tensione   nominale è 200V e la potenza è 0,55Kw

Configurazione del sistema CVD

Forno tubolare sottovuoto a 1600 gradi   (zona a temperatura singola opzionale, zona a doppia temperatura) Sistema di   controllo del flusso di massa multicanale Sistema a vuoto

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